三、技术要求
否决项
1.离子束能量：≥8kV;
2.仪器装配离子枪：2把或2把以上;
3.主机及相关附件：进口或合资品牌。
主机
1.气锁装置实现快速样品交换、始终保持洁净的高真空状态；
2.配方模式的控制界面，用于一键操作；
3.质量流量控制器提供精确和可重复的氩离子电流的控制；
4. 每个枪的抛光角度可调范围为-10度~10度，增量为0.1度；
5. 离子枪无需零件更换；
6. 离子束调制功能，可进行扇形抛光和平面抛光；
7. 洁净的真空系统，分子泵与隔膜泵搭配；
8. 操作简单，维护方便；
9. 不开启制冷装置，切削加工点最高温度：不高于70℃；
10.加工过程观察显微镜为进口品牌：放大倍率优于70X；
11. 具有加工定位功能。
离子源
1.离子枪:不少于两个；
2.抛光角度: +10° 到 -10° ，每个离子枪可独立调节；
3.离子束能量: 100 V 到 8.0 kV；
4.离子束流密度:10 mA/cm2 峰值；
5.抛光速度: 优于300 μm/h（8.0 kV条件下对于硅试样）。
样品台
1.样品装载：样品挡板, 装样简单，再次抛光位置准确，可重复使用，可直接转至SEM中观察；
2.样品旋转：0.5到6 rpm连续可调；
3.平面抛光功能：抛光样品尺寸：优于直径32mm，高度优于12mm；
4. 截面切削加工功能：截面切割尺寸：优于20cmX12mmX7mm；
5.液氮冷台：配置液氮冷台，样品最低温度可达-120°C, 有效减少离子束对样品造成的损伤。
真空系统
1.干泵系统：两级隔膜泵支持80升/秒的涡轮分子泵；
2.压力：5x10-6 托基本压力，8.5x10-5托工作压力；
3.真空规：冷阴极型，用于主样品室；固体型，用于前级机械泵。
四、投标主体的资质要求
投标方具备生产或销售该类设备的资格。
五、投标主体的业绩要求（报名业绩作为报名审核，投标书中应包含且不限于报名业绩）
提供近五年该类设备销售业绩。
六、报名要求
1.报名方式
①凡有意参加报名的供应商，请至长城控股电子招标平台注册报名：地址为：
②如无法在招标平台完成注册的，请及时联系报名联系人。
2.报名截止时间：2023年07月18日 17:00
七、联系方式
1.项目所在地：上海
2.报名联系人及联系方式：许冰倩:18633299669/0312-2198849
3.如对本项目有技术疑问或想了解更多详细信息，可将问题分条描述清晰，发送至（zbgys@）。邮件中请注明公司名称、联系人及联系电话；
4.邮件主题须注明项目名称、报名联系人，如XX项目疑问XX收，将统一进行答疑回复。
八、招标文件的获取
1.本项目投标意向金为：300元（大写:人民币叁佰元整）。
报名前须自行详细查看并判断资质及业绩符合性后，再进行报名，投标意向金缴纳后不予退还，若项目在招标过程中任意环节因招标方原因取消的，可办理投标意向金退款（若供应商已办理开票将不予退款），如果不能准确判定可询问报名负责人；
2.报名时需同步上传交款凭证，若为免费标书则上传空白页即可。
3.开票要求：在长城控股电子招标平台（不用登录）（ style="font-family:"font-size:16px;">）左下方查找开票信息模板，按照要求填写后将EXCEL版发至gfzbb@，开具后“51发票”直接将发票链接回复至邮箱中，若有疑问，请电话联系王薇，电话0312-2197731
注：a.个人缴纳投标意向金如需开具发票抬头为公司的发票，需出具加盖该企业公章的委托个人代付的说明文件，否则无法开具发票;b.发票开具完成后，意向金不再退还。c.贵司提供发票信息后，大约25个工作日左右开具电子发票并发至邮箱，请耐心等待,若超过25个工作日未收到发票，请及时联系王薇，电话0312-2197731，逾期未查收导致发票无法报销的，不再重开。
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