中金招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-01-19在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:上海交通大学拟采购1套高深宽比介质干法刻蚀系统，高深宽比介质干法刻蚀系统可产生低压、低电子温度、高密度的等离子，主要用于高深宽比SiO2及玻璃的RIE刻蚀。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0773-2341SHHW0007
招标项目名称:上海交通大学高深宽比介质干法刻蚀系统
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	高深宽比介质干法刻蚀系统	1套	1.1设备配备反应腔和传送腔，设置于设备整体的外框架内，配有保护挡板并做排风处理；内部部件不能直接裸露，具有良好的一体性和安全防护功能；其余详见“第八章货物需求一览表及技术规格”。	预算金额：人民币550.00万元。 最高限价：人民币550.00万元。 交货期：合同签订后 18 个月以内 交付地点：上海交通大学用户指定地点

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人为制造商时，须提供制造商资格声明函（见格式 IV-9-2）；投标人为代理商时，须提供资格声明函（见格式 IV-9-3）及制造商提供的针对本项目的授权书（见格式 IV-9-4）；2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件；3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为： 供应商注册进行网上注册并实名认证。（2）注册转账之后，请务必发邮件说明。邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项目名称，邮件附件包含：网上转账凭证。发送至zjzb2022@。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2023-02-09 09:30
投标文件送达地点:上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室
开标地点:上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室
6、投标人在投标前应在本网站（