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| 原采购公告、采购文件内容
| 更正后的采购公告、采购文件内容
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| 采购公告及第一章磋商邀请四、响应文件提交截止时间：
****年**月**日 **:**:**（北京时间）
| 采购公告及第一章磋商邀请四、响应文件提交截止时间：
****年**月**日 **:**:**（北京时间）
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| 采购公告及第一章磋商邀请五、开启时间：
****年**月**日 **:**:**（北京时间）
| 采购公告及第一章磋商邀请五、开启时间：
****年**月**日 **:**:**（北京时间）
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| 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求.（*.*.*）条及第七章合同草案条款第七项第*.（*.*.*）条：
*.*.* 甲方代表参与交货前检验及签署交货前检验记录的行为，不视为对合同货物质量的确认，不影响乙方交货后甲方依照合同约定对合同货物提出质量异议和（或）退货的权利，也不免除乙方依照合同约定对合同货物所应承担的任何义务或责任。
| 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求.（*.*.*）条及第七章合同草案条款第七项第*.（*.*.*）条：
*.*.*预验收阶段，乙方需要在甲方的见证下对设备*+离子注入能力进行验证，验证方法为：首先检查气路是否配备了*
*
气源，然后引出*+离子，确定*+粒子的质量数。记录束流大小
**
以及*+粒子质量数
，
并出具相应验证报告，验证报告作为终验收报告的组成部分。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
设备可注入*、**离子
测试方法：使首先检查工艺气路是否配备了*
*
、**、***、**气体源，然后分别引出这些元素离子，确定各种粒子的质量数；
测试结果：*+ 束流为
**，质量数:
*+束流为 **，质量数:
**+束流为 **，质量数:
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
设备可注入**离子
测试方法：使首先检查工艺气路是否配备了**气体源，然后引出**元素离子，确定**+粒子的质量数；
测试结果：
**+束流为 **，质量数:
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
能量＞******
能量为＞******，引出的*+束流进行试验，稳定工作**分钟，试验过程中出现的打火故障以不中断引束流为准；
测试结果：
。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
能量＞******
能量为＞******，引出的**+束流进行试验，稳定工作**分钟，试验过程中出现的打火故障以不中断引束流为准；
测试结果： 。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
注入均匀性优于*%
测试方法：*＂圆片、*型，***晶向，氧化层***？，硅片电阻率≥**Ω·**；
注入参数：注入元素为*+，能量为******，剂量*.***
**
****/**
*
，注入角度为*°，取同批注入中相同工艺参数的任意*片硅片利用高温退火炉退火，退火后用四探针测试仪测方块电阻，按照相对标准方差的统计规律，计算出均匀性参数，仪器相对偏差≤*.*%，每片测量**个点（**个点在去掉边缘***后的范围内取）；
测试结果：实际测量注入剂量均匀性为*σ≤ ％。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
注入均匀性优于*%
测试方法：*＂圆片、*型，***晶向，氧化层***？，硅片电阻率≥**Ω·**；
注入参数：注入元素为**+，能量为******，剂量*.***
**
****/**
*
，注入角度为*°，取同批注入中相同工艺参数的任意*片硅片利用高温退火炉退火，退火后用四探针测试仪测方块电阻，按照相对标准方差的统计规律，计算出均匀性参数，仪器相对偏差≤*.*%，每片测量**个点（**个点在去掉边缘***后的范围内取）；
测试结果：实际测量注入剂量均匀性为*σ≤ ％。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
剂量范围
测试方法：引*+到靶，设备引出***μ*或更小的束流，设置注入剂量为**
**
，完成均匀性建立，测试注入是否正常运行。能够正常注入，则设备能够满足最小剂量注入要求。设备引出***或更大的束流，设置注入剂量为**
**
，完成均匀性建立，测试注入是否正常运行。能够正常注入，则设备能够满足最大剂量注入要求。
测试结果：
。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
剂量范围
测试方法：引**+到靶，设备引出***μ*或更小的束流，设置注入剂量为**
**
，完成均匀性建立，测试注入是否正常运行。能够正常注入，则设备能够满足最小剂量注入要求。设备引出***或更大的束流，设置注入剂量为**
**
，完成均匀性建立，测试注入是否正常运行。能够正常注入，则设备能够满足最大剂量注入要求。
测试结果：
。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
设备辐射剂量要求
测试方法：用γ射线测量仪，在能量为******，*+束流为****μ*的情况下在机器的四周均匀取点，距离机器外壳****测量。要求辐射剂量≤*.*μ**/**。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
设备辐射剂量要求
测试方法：用γ射线测量仪，在能量为******，**+束流为****μ*的情况下在机器的四周均匀取点，距离机器外壳****测量。要求辐射剂量≤*.*μ**/**。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
离子注入束流稳定性
测试方法：分别引出*+、**+两种离子，在******与******能量下将束流引出到达靶后，稳定**分钟后开始测量，测量时每*分钟记录一次束流值，持续记录*小时，根据记录的束流值计算束流的变化率，需＜**%/小时；
测试结果：
。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
离子注入束流稳定性
测试方法：引出**+离子，在******与******能量下将束流引出到达靶后，稳定**分钟后开始测量，测量时每*分钟记录一次束流值，持续记录*小时，根据记录的束流值计算束流的变化率，需＜**%/小时；
测试结果：
。
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| **
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
能量精度
测试方法：分别引出*+、**+两种离子，在******~******范围内调节束流能量，单次步进*****，记录实际能量大小与设定能量大小，能量偏离不大于±*%；
测试结果： 。
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
能量精度
测试方法：引出**+离子，在******~******范围内调节束流能量，单次步进*****，记录实际能量大小与设定能量大小，能量偏离不大于±*%；
测试结果： 。
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| **
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
新增颗粒
测试方法：取*片硅片，用表面颗粒探测仪对需要测试的晶片进行颗粒检测,记录数据,然后分*批装载进入设备进行注入工艺,注入工艺参数如下：*″硅片，*+,
******, ***, **
**
****/**
*
。注入完成后再进行颗粒检测（去除边缘***范围）,前后数据的差值为颗粒污染值。
测试结果：
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采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、商务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程：
新增颗粒
测试方法：取*片硅片，用表面颗粒探测仪对需要测试的晶片进行颗粒检测,记录数据,然后分*批装载进入设备进行注入工艺,注入工艺参数如下：*″硅片，**+, ******, ***, **
**
****/**
*
。注入完成后再进行颗粒检测（去除边缘***范围）,前后数据的差值为颗粒污染值。
测试结果：
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