一、项目编号：HZ20220026（招标文件编号：HZ20230026）



二、项目名称：集束选择性原子层沉积装备加工及测试



三、中标（成交）信息



供应商名称：华中科技大学无锡研究院

供应商地址：无锡市惠山区堰新路329号

中标（成交）金额：185.0000000（万元）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	服务名称	服务范围	服务要求	服务时间	服务标准
1	华中科技大学无锡研究院	集束选择性原子层沉积装备加工及测试	前处理腔室加工、ALD腔室加工、ALE腔室加工、晶圆传递装置加工、材料结构及性能表征测试等	完成测试加工测试服务且达到验收标准。	签订合同一年内完成所有加工和测试服务。服务完成且验收格式之后五年提供技术支持和服务。	按照合同、图纸和国家标准执行。

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：



刘亚丰（组长），罗风光，刘潇（采购人代表）



六、代理服务收费标准及金额：



本项目代理费收费标准：0



本项目代理费总金额：0.0000000 万元（人民币）

七、公告期限



自本公告发布之日起1个工作日。



八、其它补充事宜







九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。



1.采购人信息



名 称：华中科技大学本级　　　　　



地址：武汉华中科技大学大学生活动中心A207　　　　　　　　



联系方式：彭老师027-87540657　　　　　　



2.项目联系方式



项目联系人：彭老师



电　话：　　027-87540657