1.









项目名称：氮化硅光学转接板加工













2.成交供应商名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所









3.成交供应商地址：



苏州工业园区若水路

398

号











4.成交金额(人民币)：10.00万元











5.





付款方式：合同签订后14个工作日内预付合同金额30%，服务完成验收后14个工作日内付合同金额70%尾款。











6.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
1	光刻-匀胶、曝光、显影等光刻工艺	2024年12月31日前
2	坚膜-显影后，用氮气烘箱烘烤光刻胶
3	刻蚀-刻蚀氧化硅和硅
4	镀膜-沉积氮化硅上包层氧化硅
5	抛光-对样品表面进行化学机械抛光处理
6	测台阶仪-器件结构的台阶厚度表征
7	SEM电镜-使用扫描电镜对器件图形形貌观察表征
8	超净间使用

华中科技大学武汉光电国家研究中心









2023年06月30日