广东国科招标有限公司（以下简称“采购代理机构”）受广东省科学院半导体研究所（以下简称“采购人”）委托，现对“扫描透射电子显微镜”组织进行需求调研。为了解市场各供应商的服务情况，以及使服务和商务要求体现公平、公正的原则，现邀请有能力提供合格服务的各单位参与本项目的需求调研活动，相关事宜通知如下：





一、项目概况















1、调研内容：









扫描透射电子显微镜1套













2、调研标的内容清单及主要服务要求：













需要实现的功能：





高分辨扫描透射电子显微镜用于集成电路高分辨率结构成像与分析、器件缺陷分析与失效分析、半导体材料界面与原子尺度分析等。





价格要求：





货款、设计、安装、随机零配件、标配工具、运输保险、调试、培训、质保期服务、各项税费（采购人为免税单位，如提供进口产品的需排除进口税费）及合同实施过程中不可预见费用等。





配置内容要求：





二次电子分辨率：≤0.7nm@15kV，≤1.1nm@1kV（非样品台减速模式下）；





电子束加速电压范围：0.02 kV~ 30 kV，着陆能量范围：20eV～30keV（非样品台减速模式下）；





配备五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标： X方向≥130 mm，Y方向≥130 mm，R=360°（旋转）； 样品台Z方向最大移动范围：Z≥50 mm，双向倾斜，倾斜范围至少覆盖-10°至 +90°；





单张图片最大存储分辨率≥32k × 24k。















二、调研方式





有意向参与的单位可以向采购代理机构提供参数指标、设计方案、相关产业发展情况、市场供给情况、同类服务项目历史成交信息及其他需求相关情况意见或建议（须按照附件一：政府采购项目采购需求格式进行填写），请在本公告发出之日起的5个工作日内，以邮件PDF和word形式（PDF材料须加盖公章，并提供加盖公章的营业执照、注明联系人、联系电话）发送至采购代理机构邮箱：gzgk@。采购人将根据调研意见情况，结合自身采购需求，形成采购文件。





三、需求调研截止日期、时间及公布媒体





1、递交截止日期和时间：2025年12月1日17:30（北京时间，以采购代理机构收到时间为准）。





2、本公告信息在广东国科招标有限公司网（





四、单位联系方式





采购代理机构：广东国科招标有限公司





项目联系人：李小姐、苏先生





联系电话：020-37674721、020- 87687651





传真号码：020-87685201





电子邮箱：gzgk@





联系地址：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼





邮政编码：510070





网址：











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2025年11月27日