采购项目名称

清华大学等离子体增强化学增强气相淀积（PECVD单腔）采购项目

品目

货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表

采购单位

清华大学

行政区域

北京市

公告时间

2026年07月08日17:44

评审专家名单

李悦、姜明、沈先锋、黄英华、贺兵、吴宇、刘丽君

总中标金额

￥230.000000万元（人民币）

联系人及联系方式：

项目联系人

侯东艳、张磊、张涵睿、邓嘉莹、蒋雪娜、陈思佳

项目联系电话

010-61954119、61954120

采购单位

清华大学

采购单位地址

北京市海淀区清华园

采购单位联系方式

010-62780051

代理机构名称

中招国际招标有限公司

代理机构地址

北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦

代理机构联系方式

侯东艳、张磊、张涵睿、邓嘉莹、蒋雪娜、陈思佳，010-61954119、61954120

附件：

附件1

关于符合本国产品标准的成本占比承诺函.pdf

附件2

清华大学等离子体增强化学增强气相淀积（PECVD单腔）采购项目-公开招标文件发售稿.pdf

附件3

关于符合本国产品标准的声明函.pdf

一、项目编号：清采招第20260186号（TC2619056）（招标文件编号：清采招第20260186号（TC2619056））

二、项目名称：清华大学等离子体增强化学增强气相淀积（PECVD单腔）采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：北京北方华创微电子装备有限公司

供应商地址：北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

中标（成交）金额：230.0000000（万元）

四、主要标的信息

序号

供应商名称

货物名称

货物品牌

货物型号

货物数量

货物单价(元)

1

北京北方华创微电子装备有限公司

等离子体增强化学增强气相淀积（PECVD单腔）

北方华创

Taurusi200PES

1套

2300000.00

五、评审专家（单一采购人员）名单：

李悦、姜明、沈先锋、黄英华、贺兵、吴宇、刘丽君

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：详见招标文件。

本项目代理费总金额：2.344000万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

1.中标供应商评审总得分：93.69分。

2.未中标人请在中标公告发布之日起5个工作日内联系采购代理机构办理退还投标保证金事宜，中标人请在采购合同签订之日起5个工作日内联系采购代理机构办理退还投标保证金事宜。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称：清华大学

地址：北京市海淀区清华园

联系方式：010-62780051

2.采购代理机构信息

名称：中招国际招标有限公司

地址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦

联系方式：侯东艳、张磊、张涵睿、邓嘉莹、蒋雪娜、陈思佳，010-61954119、61954120

3.项目联系方式

项目联系人：侯东艳、张磊、张涵睿、邓嘉莹、蒋雪娜、陈思佳

电话：010-61954119、61954120